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용도별 맞춤제작
반도체 장비·웨이퍼 전용 알루미늄 하드케이스
웨이퍼·서브팹 스페어를 저파티클·저정전기로 이송하는 클린룸 대응 케이스
기존 방식의 문제
- ✕웨이퍼 에지 치핑·크랙으로 라인 스크랩 발생
- ✕클린룸 반입 시 파티클·아웃가스 오염 우려
- ✕고가 서브팹 스페어의 운송 중 정전기·충격 손상
- ✕부품별 형상이 달라 범용 폼으로 고정이 어려움
코리아하드케이스 맞춤 케이스 해결책
- 정전기 소산 인서트로 웨이퍼·디바이스 방전 손상 방지
- 저파티클·저아웃가스 폼으로 클린룸 오염 최소화
- 정밀 성형 크래들 + 인캡슐레이션으로 에지 치핑 차단
- 밀폐 실링 + 데시칸트 포켓으로 습기·워터마크 방지
웨이퍼 카세트, 레티클/포토마스크, 매스플로우 컨트롤러·RF 매처 등 서브팹 스페어와 정밀 지그를 운반하는 알루미늄 하드케이스. 저파티클·저아웃가스 인서트와 데시칸트 습도관리로 클린룸 오염과 에지 치핑을 방지합니다.
반도체장비케이스에 추천하는 규격
반도체장비케이스 맞춤 견적 받기
장비 모델명과 액세서리 목록을 알려주시면 폼 레이아웃까지 최적화해 드립니다
자주 묻는 질문
Q. 클린룸에 반입 가능한 소재로 제작되나요?
저파티클·저아웃가스 인서트와 세척 가능한 내부 소재를 적용하면 클린룸 이송용으로 구성할 수 있습니다. 요구되는 클린룸 등급(Class 100 등)을 알려 주시면 인서트 사양을 맞춰 설계합니다.
Q. 웨이퍼 에지 치핑을 어떻게 막나요?
웨이퍼 지름에 맞춘 정밀 성형 크래들로 웨이퍼면과 에지가 케이스 벽에 직접 닿지 않도록 격리하고, 운송 진동을 흡수하는 인캡슐레이션 폼으로 미세 진동까지 감쇠합니다.